Yerli litografi makinesi umudu
Editörün Notu: Son zamanlarda ASML ile ilgili bir söylenti yayılması litografi makinelerine yerli ilgiyi çekmiştir. Çip endüstrisinde önemli bir ekipman olarak litografi makinesinin önemi açıktır. Bu fırsatı değerlendirerek, herkesin yerel alanı daha derinlemesine anlamasına yardımcı olmak için, önde gelen yerli litografi makinesi olan Şangay Mikroelektronik hakkında bir girişi burada yeniden yazdırıyoruz.
Shanghai Microelectronics, Bilim ve Teknoloji Bakanlığı ve Şangay Belediye Hükümeti'nin ortak teşviki altında bir dizi yerli işletme grubu ve yatırım şirketi tarafından ortaklaşa yatırım yapılan bir yüksek teknoloji girişimidir. 2002 yılında kurulan şirket, ağırlıklı olarak yarı iletken ekipman, pan-yarı iletken ekipman ve litografi ekipmanının şirketin ana işi olduğu son teknoloji akıllı ekipmanların tasarımı, üretimi ve satışı ile ilgilenmektedir. Şirket, litografi ekipmanları alanında en ileri teknolojiye sahiptir. Şu anda, şirketin litografi makinesi, entegre devre endüstrisi zincirinde gofret üretimi, paketleme ve testlerinde, ayrıca düz panel ekranlarda, yüksek parlaklıkta LED'lerde ve diğer alanlarda kullanılabilir.
1.2
Şirket anakarada yüksek bir pazar payına sahip ve performansı giderek artıyor
Şirket, Çin'in önde gelen litografi ekipmanı şirketidir. Şu anda, şirket tarafından geliştirilen üst düzey ön uç litografi makinesi, 90nm sürecini gerçekleştiriyor. Orta uç gelişmiş paketleme litografi makinesi ve LED litografi makinesi alanında, şirket lider teknolojiye sahiptir ve anakara Çin'deki pazar payı% 80'i aşmıştır. Gelişmiş ambalaj litografi makinesi, seri üretimi gerçekleştiren ilk makinedir ve yurtdışı pazarlara ihraç edilmektedir.Birçok ödül ve teknik sertifika kazanmış olup, sektör tarafından yaygın olarak tanınmaktadır. Temel düşünce verilerine göre, Shanghai Microelectronics 2018'de 50-60 birim arasında satış yapacak.
China Semiconductor Association'a göre şirket, yarı iletken ekipman satıcıları arasında 5. sırada yer alıyor ve litografi makinelerinin satışında uzmanlaşmış tek üretici.
Şirketin güçlü bir Ar-Ge ekibi var ve bağımsız inovasyon yetenekleri sürekli gelişiyor. Ülkenin güçlü desteği ile şirket, şirketin rekabet gücünü ve ürün geliştirme verimliliğini daha da artırmak için mükemmel yetenekler sunarak çekirdek ekibi güçlendirmeye devam ediyor. SDIC High-tech'e göre, Shanghai Microelectronics şu anda Ar-Ge ekibini büyütüyor. Ar-Ge ekibini, olağanüstü yeteneklere sahip Ulusal Bin Yetenek Programındaki uzmanlar, Şangay bilim ve teknoloji liderleri ve Şangay teknoloji disiplini liderleri ve diğer ağır sıklet profesyonelleri de dahil olmak üzere büyütmektedir. Şirketin verilerine göre, şirketin yayınladığı patent sayısı son yıllarda artıyor ve bu da Shanghai Microelectronics'in bağımsız inovasyon yeteneklerinin sürekli olarak geliştiğini gösteriyor. Aralık 2018 itibarıyla SMEE, doğrudan 2.400'den fazla çeşitli patent ve patent başvurusuna sahiptir.Aynı zamanda şirket, litografi ekipmanı, lazer uygulamaları içeren endüstriyel fikri mülkiyet ittifakı kurarak ve bunlara katılarak çok sayıda ittifak üyesinin fikri mülkiyet kaynaklarını daha da entegre etmiş ve paylaşmıştır. Test ve özel uygulamalar gibi ana ürün teknik alanları, ürünlerin ana satış alanlarını kapsamakta ve bu da şirketin rekabet gücünü sürekli geliştirmektedir. Şirket, devlet destekli kilit bir kuruluştur. Ulusal 02 Özel Projesinin desteğiyle Shanghai Microelectronics, litografi makinesi imalatını aktif olarak kullanıyor.
Shanghai Microelectronics aktif olarak halka arz için hazırlanıyor. China Securities Regulatory Commission tarafından yayınlanan "Shanghai Microelectronics Equipment (Group) Co., Ltd. Danışmanlık ve Dosyalama Temel Durum Tablosu" na göre şirket, 27 Aralık 2017 tarihinde China Securities Co., Ltd. ile bir danışmanlık anlaşması imzalamış ve danışmanlık ve dosyalama gerçekleştirmiştir.
1.3
Şirketin asıl denetleyicisi Shanghai SASAC
Şirketin en büyük hissedarı,% 32.09 sermaye ile Shanghai Electric'dir. Şirketin fiili kontrolörü olan Şangay Devleti Varlık Denetleme ve İdare Komisyonu, Electric Group, Shanghai Science and Technology Investment ve Taili Investment gibi hissedarlar aracılığıyla şirketin öz sermayesinin% 53,49'unu elinde bulunduruyor. Şirketin tamamına sahip olduğu 4 iştiraki ve öz sermaye iştiraki olan bir iştiraki bulunmaktadır.
Litografi makinesi: yüksek engelli sermaye yoğun çekirdek ekipman, geniş bir pazar ve konsantre bir lider
2.1
Litografi teknolojisi, gelişmiş üretim sürecini gerçekleştirmek için anahtar ekipmandır
Litografi makineleri, IC ön uç litografi makineleri, paketleme için arka uç litografi makineleri ve LED ve panel alanları için litografi makineleri dahil olmak üzere çok çeşitli uygulamalara sahiptir. Ambalaj litografi makinesi, litografi doğruluğu için ön uç litografi gereksinimlerinden daha düşük gereksinimlere sahiptir ve panel litografi makinesi, genellikle mikron düzeyinde olan IC ön uç litografi makinesinden daha düşük bir teknik doğruluğa sahiptir. IC ön uç litografi makinesi teknolojisi en karmaşık olanıdır.Ltografi süreci IC üretiminin temel halkasıdır.Ltografi teknolojisi kullanılarak, maske üzerindeki çip devre şeması silikon plakaya aktarılabilir. Litografi makinesi, ışık kaynağı, optik lens, hizalama sistemi vb.Dahil olmak üzere bir tür projeksiyon pozlama sistemidir. İmalat sürecinde, alt tabaka üzerine kaplanmış ışığa duyarlı fotorezist, maske ve optik lens içinden bir ışık huzmesi yansıtarak ışınlanır.Geliştirildikten sonra, devre şeması nihayet silikon plakaya aktarılabilir.
Litografi makinesi, maskesiz bir litografi makinesi ve bir maskeli litografi makinesine bölünmüştür. Maskesiz litografi makineleri, elektron ışını doğrudan yazma litografi makineleri, iyon ışını doğrudan yazma litografi makineleri ve lazer doğrudan yazma litografi makinelerine ayrılabilir. Elektron ışını doğrudan yazmalı litografi makinesi, yüksek çözünürlüklü maskelerin ve entegre devre prototip doğrulama çiplerinin üretimi için kullanılabilir.Lazer doğrudan yazma litografi makinesi genellikle belirli yongaların küçük partilerinin üretimi için kullanılır. Maskeli litografi makineleri, temas / yakınlık litografi makineleri ve projeksiyon litografi makineleri olarak ikiye ayrılır. Temaslı litografi ve yakınlık litografi makineleri daha önce ortaya çıktı ve projeksiyon litografi makineleri teknolojide daha gelişmiş ve desen oranının 1: 1 olması gerekmiyor, bu da maske üretim maliyetini düşürüyor ve şu anda gelişmiş üretim süreçlerinde yaygın olarak kullanılıyor. Pozlama ışık kaynağının iyileştirilmesiyle, litografi makinesinin işlem teknolojisi düğümü sürekli olarak küçülüyor.
Şu anda, en gelişmiş litografi makinesi, 13,5 nm ışık kaynağı kullanan ve minimum 7 nm işlem elde edebilen ASML'nin EUV litografi makinesinden geliyor. Bu ekipmanın geliştirilmesi daha zordur ve kullanım koşulları daha karmaşıktır.Şu anda bu teknolojiyi sadece ASML bozmuştur. Tüm maddeler EUV radyasyonunu emdiğinden, ışığı toplamak (toplayıcı), ışını (aydınlatıcı) ve desen aktarımını (projeksiyon optiği) ayarlamak için kullanılan optik cihazlar, yüksek performanslı molibden silikon çok katmanlı aynalar kullanmalı ve tüm optik yolu barındırmalıdır. Yakın vakum ortamında, tüm cihaz çok karmaşıktır.
Çip boyutunun küçültülmesi ve performansın iyileştirilmesi, fotolitografi teknolojisinin geliştirilmesine bağlıdır. Litografi ekipmanının ışık kaynağı dalga boyunun daha da azaltılması, gelişmiş üretim süreçlerinin geliştirilmesini teşvik edecek, böylece çip güç tüketimini ve küçülen çip boyutunu azaltacaktır. International Society for Optics and Photonics and VLSI Research'e göre, yüksek hassasiyetli EUV litografi makinelerinin kullanılması, kalıp ve yonga plakasının maliyetini daha da düşürecek, ancak ekipmanın maliyeti de artacaktır.
Şu anda, fotolitografi süreci IC üretimindeki en kritik ve karmaşık adımdır.Fotolitografi makinesi şu anda en pahalı yarı iletken ekipmandır.Fotolitografi süreci aynı zamanda imalatta en büyük zamanı alan adımdır. Gofret üretim hattının ekipman maliyetinin yaklaşık% 30'unu ve yonga üretim süresinin% 40-50'sini oluşturur. Örnek olarak litografi makine endüstrisindeki lider ASML'yi ele alalım.Araştırma ve geliştirme yatırımı yılda yaklaşık 1 milyar Euro'dur ve her geçen yıl artmaktadır.
Üst düzey EUV'nin fiyatı yükselmeye devam ediyor. Temel düşünceye göre, 2018'de tek bir EUV'nin ortalama fiyatı, 2017'deki tek bir EUV'nin ortalama fiyatına kıyasla% 4 artışla 104 milyon avro oldu. 2018'in ilk çeyreğinde ve dördüncü çeyreğinde fiyat 116 milyon avroyu buldu.
2.2
Litografi makinesi pazarı geniş bir alana sahiptir ve üst düzey ve alt düzey pazar modelleri çok farklıdır.
2.2.1. Litografi makinesinin pazar lideri yoğunlaşmış ve düşük kaliteli pazar geniş ve rekabet şiddetliLitografi ekipmanında pazar lideri konsantredir ve EUV litografi makineleri ASML tarafından tekelleştirilmiştir. Küresel litografi makinesi sevkiyatlarının% 99'u ASML, Nikon ve Canon'da yoğunlaşmıştır. Bunlar arasında ASML,% 67,3'e ulaşan en yüksek paya sahip ve üst düzey EUV litografi makinesi pazarını tekelleştiriyor. ASML'nin ileri teknolojisi, yüksek yatırımdan ayrılamaz ve Ar-Ge harcama oranı her zaman Nikon ve Canon'dan çok daha yüksek olan% 15 -% 20'de tutulmuştur.
ASML'nin üst düzey EUV, ArFi ve ArF modellerinde pazar payı artmaya devam ediyor. 2017 yılında, ASMLnin yukarıdaki üç modelin sevkiyatları, pazar payının% 78,29'unu oluşturan 101 birim olarak gerçekleşti. 2018 itibariyle, ASMLnin sevkiyatları yaklaşık% 90 pazar payı ile 120 adede yükseldi. ASML, 2018'de toplam 224 litografi makinesi sevk etti ve 2017'de 198'den 26 birim artışla% 13,13 artış sağladı. Nikon, 2018'de (mali olmayan yıl) 106 litografi makinesi, yarı iletkenler için 36 litografi makinesi, bir önceki yıla göre% 33,33 artış ve panel için 70 litografi makinesi (FPD) sattı. Canon, bir önceki yıla göre% 1,6 artışla 2018'de 183 litografi makinesi sattı. Yarı iletken litografi makinelerinin sevkiyatları% 62,85 artışla 114 adede ulaştı. Bununla birlikte, iki düşük kaliteli makine, i-line ve KrF, ağırlıklı olarak sevk edildi ve panel (FPD) litografi makinelerinin 69 birimi sevk edildi.
IC ön uç litografi makinesinin lokalizasyonu ciddi şekilde yetersizdir. Şu anda, önde gelen yerli litografi makinesi Shanghai Microelectronics'tir.En gelişmiş ArF ışık kaynağı litografi makinesi düğümü 90 nm'dir. Çinli işletmelerin genel teknolojisi nispeten geri kalmış ve gelişmiş üretim süreçleri açısından yabancı üreticilerle hala büyük bir boşluk var.
Nikon ve Canon şu anda üst düzey pazardaki ASML'den uzak ve neredeyse tamamen piyasadan çekildi. Canon ayrıca ArF ışık kaynaklı litografi makinelerinin Ar-Ge ve satışından çekilerek işini ambalaj litografi makineleri dahil düşük kaliteli litografi makinesi pazarına odakladı. Karmaşık IC ön uç üretimiyle karşılaştırıldığında, LED litografi makineleri ve panel litografi makineleri daha düşük işlem gereksinimlerine ve teknik engellere sahiptir.
Ambalaj litografi makine teknolojisi gelişmeye devam ediyor ve yeni teknolojiler ortaya çıkmaya devam ediyor. Ön uç alanıyla ilgili. Eğriltme işlemi ve heterojen malzemeler, litografi teknolojisi için büyük bir zorluk oluşturmaktadır. Ek olarak, bazı MEMS üretim ekipmanı, hassas katman katman hizalama gerektirir ve şu anda seri üretimde kullanılan iki ana litografi tekniğidir. Doğrudan lazer görüntüleme (LDI) ve lazer ablasyon gibi yeni litografi teknolojileri de ortaya çıkıyor.
Düşük kaliteli litografi makinelerine olan talep büyümeye devam ediyor ve pazar rekabeti yoğunlaşıyor. Yole'ye göre, gelişmiş paketleme, MEMS ve LED litografi makinelerinin sevkiyatları 2015'ten 2020'ye kadar büyümeye devam edecek ve toplam sayının 2020 yılına kadar yılda 250 birimi aşması bekleniyor. Düşük kaliteli pazarın sürekli büyümesi esas olarak gelişmiş paketleme tarafından yönlendirilmektedir.Adım teknolojisinin gelişmesiyle, gelişmiş ambalaj litografi ekipmanı sevkiyatlarının 2015'ten 2020'ye kadar yıllık bileşik büyüme oranı% 15'e ulaşacaktır. MEMS litografi pazarı, esas olarak IC prefabrik litografi makinelerinin tekrar tekrar kullanımından ve değiştirilmesinden yararlanmaktadır. Düşük kaliteli litografi makinelerinin pazar ölçeğinin sürekli genişlemesi ve önceki üretime kıyasla daha düşük teknik engellerle, daha fazla rakip var.Şu anda Nikon ve Canon, düşük kaliteli pazarda iki lider.
Gofret boyutunun artırılması ve küçültme süreci, üretim hattı için gerekli ekipman sayısını ve daha yüksek performans gereksinimlerini artıracaktır. 12 inçlik bir gofret üretim hattında gerekli olan litografi makinelerinin sayısı, 8 inçlik bir gofret üretim hattına kıyasla daha da artacak ve gelişmiş süreçlerin geliştirilmesi, litografi makineleri için performans gereksinimlerini daha da artıracaktır.
Endüstriyel transferin teşvik edilmesi ve fabrikaların inşası ve marjinal talebin iyileştirilmesi ile litografi ekipmanı pazarı büyümeye devam edecek. Varianat Pazar Araştırmasına göre, küresel litografi ekipmanı pazarının 2025 yılına kadar 491,7 milyon ABD dolarına ulaşacağı tahmin ediliyor; 2017'den 2025'e bileşik yıllık büyüme oranı% 15,8'e ulaşacak.
Birden fazla litografi makinesinin pazar talebini karşılamak için ambalaj, LED ve düz panel ekranlı litografi makinesi işini aktif olarak geliştirin
3.1
Şirketin ön uç litografi makinesinde büyük bir boşluk var ve arka uç paket litografi makinesinin bariz avantajları var
3.1.1. Şirketin ön uç litografi makinesi, uluslararası ileri düzey ile büyük bir boşluğa sahiptir.Şirketin IC ön uç litografi makine teknolojisi, uluslararası ileri düzey ile önemli bir boşluğa sahiptir. IC ön uç litografi makinesi araştırma ve geliştirme döngüsü uzun ve maliyetlidir.Şu anda, uluslararası IC ön uç litografi makinesi olan ASML, 7 nm EUV litografinin gelişmiş sürecini gerçekleştirirken, yerel lider Shanghai Microelectronics geç bir başlangıç ve zayıf bir teknoloji birikimine sahiptir. Teknoloji düğümü 90 nm'dir ve bunların çoğu, nesnel olarak uluslararası ileri düzeyin çok gerisinde olan lazer görüntüleme teknolojisidir.
Ulusal özel şirketin 90 nm sürecini gerçekleştirmede başı çekeceğine güvenerek, gelecekte kademeli olarak 45 ve 28 nm'yi gerçekleştirmesi bekleniyor. 2002 yılındaki kuruluşundan bu yana şirket, IC ön uç litografi makinelerinin araştırma ve geliştirmesine aktif olarak yatırım yapmıştır. Şirketin 600 serisi adım taramalı projeksiyon litografi makinesi, dört kat küçültme büyütme, işleme uyarlamalı odaklama ve tesviye teknolojisi ve yüksek hız ve yüksek hassasiyet ile bir projeksiyon hedefi benimsemiştir. Kendinden sönümlü altı serbestlik dereceli iş parçası sahne maskesi sahne teknolojisi, IC ön uç üretiminin 90nm, 110nm, 280nm litografi süreci gereksinimlerini karşılayabilir ve 8, 12 inçlik hatların büyük ölçekli endüstriyel üretimi için uygundur. Şu anda, şirketin 90nm proses IC ön uç litografi makinesi prototipi, uzman grubun saha testini geçmiştir ve 90 nm, litografi makinesinin teknik bir adımıdır. 90 nm adımından sonra, 65 nm'ye ulaşmak ve ardından 65 nm'ye yükseltmek kolaydır 45 nm sürecini gerçekleştirebilir. Büyük ulusal bilim ve teknoloji projelerinin desteğiyle, Shanghai Microelectronics'in IC ön uç litografi makinesinin önümüzdeki birkaç yıl içinde 45 nm ve 28 nm proseslere ulaşması ve uluslararası ileri düzey ile farkı kademeli olarak daraltması bekleniyor.
SIP paketleme pazarı hızla gelişiyor ve şirketin ambalaj litografi makinesi geniş bir pazara sahip. SIP paketleme (Bir Pakette Sistem), IC paketleme alanında en gelişmiş paketleme teknolojisi haline gelen bir veya daha fazla IC yongasını ve pasif cihazı aynı pakete entegre eder. Elektronik ekipmanın minyatürleştirilmesi, 5G, IOT ve kısaltılmış pazar döngüleri gibi birçok faktörün yönlendirdiği SIP pazarı hızla genişledi. 2016 yılında küresel sistem düzeyinde ambalaj pazarı 5,44 milyar ABD doları değerindeydi ve 2023 yılına kadar 9,07 milyar ABD dolarına ulaşması bekleniyor. 2016'dan 2023'e bileşik büyüme oranı% 7,58'e ulaştı ve SIP gelişmiş paketleme pazarı hızlı gelişmeyi sürdürdü.
Şirketin ambalaj litografi makinesi, sırasıyla% 80 ve% 40'a ulaşan yerel ve küresel pazar payları ile çeşitli gelişmiş paketleme süreçlerinin ihtiyaçlarını karşılamaktadır. Global SIP'in farklı çipler veya cihazlar arasında akım yollarını açması gerekir ve düğümler çok iyi olamaz, aksi takdirde odak derinliği nüfuz edemez.Şirketin ana 500 serisi IC arka uç paketleme litografi makinesi bu gereksinimi karşılar. Şirketin 500 serisi paket litografi makinesi, geniş bir görüş alanı, yüksek verimli üretim, film yapıştırma film pozlama için destek, yüksek hassasiyetli gravür ve sıcaklık kontrolü ve çeşitli çift taraflı çiftler ile uluslararası ileri seviyeye ulaşan veya bu seviyeye yakın temel göstergeler ile yurt içinde liderdir. Yarı ve kızılötesi görünür ışık ölçümü gibi özellikler, çeşitli gelişmiş paketleme süreçlerinin ihtiyaçlarını karşılayabilir. Şirketin ambalaj litografi makinesi gruplar halinde tedarik edildi. Şirket, Changjiang Electronics Technology, ASE Semiconductor ve Tongfu Microelectronics gibi önde gelen paketleme ve test şirketlerinin önemli bir tedarikçisi haline geldi ve denizaşırı pazarlara ihracat yapıyor. Yurtiçi pazar payı% 80'e varıyor. Küresel pazar Pazar payı% 40'a ulaşır.
3.2
Yurtiçi LED pazarı talebi hızla artıyor ve şirketin LED litografi makinesi performans göstergeleri lider
Yurtiçi LED pazarının hızlı genişlemesi, LED litografi makinelerine olan talebin büyümesini teşvik etti. LED endüstrisi kapasitesinin Çin'e kademeli olarak aktarılmasıyla, Çin'in LED pazarının ölçeği 2011'de 154,5 milyar yuan'dan 2017'de 550,9 milyar yuan'a yükseldi ve yıllık bileşik büyüme oranı% 23,6 oldu ve LED endüstrisi eğilimi gelişti. , Pazar ölçeğindeki büyüme oranı üst üste yedi yıl boyunca% 10'u aştı. Yurtiçi LED pazarının hızlı genişlemesi, LED litografi makinelerine yönelik iç talebi daha da artıracaktır.
Şirketin LED / MEMS / güç cihazı litografi makinesi önde gelen performans göstergelerine sahiptir ve LED litografi makinesi en büyük pazar payına sahiptir. Şirketin 300 serisi kademeli projeksiyon litografi makinesi, yüksek çözünürlük (0,8um), yüksek hızlı çevrimiçi eşleme, yüksek hassasiyetli dikiş ve kaplama, çok boyutlu alt tabaka kendi kendine uyarlama ve mükemmel eşleşen Hizalayıcı ile 6 inç'in altındaki küçük ve orta yüzeyler için gelişmiş litografi uygulamalarına yöneliktir. Şirketin LED litografi makinesi, LED litografi makinesi için performans göstergeleri açısından pazarda lider bir konuma sahiptir ve LED üretimi için projeksiyon litografi makinesi pazarı, HB-LED, MEMS ve Güç Cihazları alanlarında tek ve çift taraflı litografi ihtiyaçlarını karşılamaktadır. İlk paylaşım.
3.3
Yerli FPD endüstrisi hızla gelişiyor ve şirket aktif olarak FPD litografi makinesi pazarını araştırıyor
Yerli FPD endüstrisi hızlı bir gelişme aşamasındadır ve pazar geliştirme alanı çok büyüktür. Yerli FPD üretim hatlarının inşası ve art arda devreye alınması ve aşağı akım elektronik ekipman uygulamalarının çeşitlendirilmiş gelişimi ile Çin'in FPD endüstrisi hızlı bir gelişme dönemine girdi ve üretim kapasitesi büyümeye devam etti. Ticaret Bakanlığı'nın verilerine göre 2013 yılında yurt içi FPD üretim kapasitesi sadece 22 milyon metrekare iken, yerli üretim kapasitesi 2017'de hızla 96 milyon metrekareye yükseldi. 2013'ten 2017'ye büyüme oranı% 336,36'ya kadar yükseldi. 2020'de Çin'in FPD üretim kapasitesinin artması bekleniyor. 2013'ten 2020'ye% 36,48 bileşik büyüme oranıyla 194 milyon metrekareye ulaştı. FPD pazarı hızlı büyümeyi sürdürüyor ve gelişme için çok büyük bir alana sahip.
Yerli FPD üretim kapasitesinin küresel payı artmaya devam ediyor ve Çin, 2017 yılına kadar dünyanın en büyük ikinci FPD tedarik alanı haline geldi. FPD endüstrisinin kademeli olarak Çin anakarasına kaymasının ve Çin anakarasındaki FPD üreticilerinin BOE liderliğindeki artan yatırımlarının ikili etkileri altında, yerli FPD üretim kapasitesinin küresel payı artmaya devam etti. Ticaret Bakanlığı'nın verilerine göre 2013 yılında yerli FPD üretim kapasitesi dünyanın sadece% 13,9'unu oluşturuyordu. 2017'de yurt içi FPD üretim kapasitesinin küresel payı% 34'e yükseldi. 2013'ten 2017'ye büyüme oranı% 144,60'a ulaştı ve Çin dünyanın en büyük ikinci FPD'si oldu. Tedarik alanında, yerli FPD üretim kapasitesinin küresel payının 2020 yılında% 52'ye çıkması ve Çin'in o zamana kadar dünyanın en büyük FPD üretim üssü haline gelmesi bekleniyor.
Nikon ve Canon, FPD litografi teknolojisinde bariz avantajlara sahiptir ve temel olarak FPD litografi makinesi pazarını tekeline alır. Şu anda Nikon ve Canon, ASML tarafından sıkıştırılmış durumda ve temelde 2 milyar ABD doları değerindeki düşük kaliteli düz panel ekran litografi pazarına çekildiler, ancak her ikisi de FPD litografi alanında mutlak teknik avantajlara sahip.
Nikon FPD litografi teknolojisi avantajları: Nikon şu anda küresel FPD litografi sistemi pazarında en yüksek paya sahiptir; Nikonun FPD litografi sistemi, daha yüksek doğruluk ve üretim verimliliği elde etmek için çok lensli bir tarama yöntemi kullanır; cam plakalar her yıl büyüdükçe, bunlardan daha fazla miktarın kesilmesine izin verilir Panelin üretkenliğini artırmak, böylece daha geniş bir alandaki devrenin tek bir pozlamayla modellenebilmesi için gereklidir. Nikon, bu sorunu çözmek için benzersiz teknolojisine dayalı bir çoklu lens sistemi geliştirmiştir.Etkili pozlama için Nikon, geniş bir pozlama alanını kapsayacak şekilde iki sıra halinde birden fazla lens düzenler. En büyük Nikon FPD litografi sistemi FX -101 Sıralar halinde düzenlenmiş 14 adede kadar lens vardır, bu lensler büyük bir lens olarak hassas bir şekilde kontrol edilir; şu anda en büyük 10. nesil cam plaka 3.13 × 2.88 metre boyutundadır, Nikon bu Gen 10 tableti son teknoloji FX-101S ile donattı. Sistem, 60 inçten fazla büyük boyutlu panelleri etkili bir şekilde üretebilir; yüksek çözünürlüklü FPD üretimi, Nikon tarafından bağımsız olarak geliştirilen lensler aracılığıyla hassas pozlama, cam plakaların hassas konumlandırma, cam plaka yüzey deformasyonunun ölçümü ve ayarlanması dahil olmak üzere çeşitli teknolojiler gerektirir Bu teknolojiler FPD litografi sistemlerine uygulandı ve aynı anda yüksek hassasiyet ve yüksek verimlilik elde etti. Nikon, 1986 yılında FPD üretim alanında NSR-L7501G'yi piyasaya sürdüğünden beri, Nikon çok sayıda FPD litografi sistemi geliştirdi ve sattı. Büyük ölçekli FPD litografi sistemlerinde bir lider ve ayrıca akıllı telefonlar ve tabletler için küçük ve orta boyutlu yüksek çözünürlüklü FPD'lerin üretimi için ideal modeller sağlar;
Canon FPD Litografi Teknolojisinin Avantajları: Yay şeklindeki görüntüleme aralığı en iyi görüntüleme özelliklerini elde etmeyi mümkün kıldığından, Canon'un ekipmanı geniş bir alanda yüksek çözünürlüklü performans elde etmek için yay şeklindeki poz alanını tarayabilir; distorsiyonu gözlemlemek için hem AS hem de OAS yöntemlerini kullanarak, Canon'un hibrit hizalama sistemi, inceleme süresini daha da iyileştirebilir ve daha doğru ölçüm yapabilir; önceki pozlama sırasında oluşan desen bozulmasını çözmek için Canon'un yüksek hassasiyetli hızlı platformu, tarama hızı ve yönüne ince ayar yapar ve pozlama işlemi sırasında litografiyi düzeltir. Maske üzerindeki maske kalıbı; doğrusal olmayan distorsiyon düzeltme teknolojisi ile tarama düzeltme mekanizmasının birlikte kullanılması, alt tabakadaki çeşitli şekillerin deformasyonunu halledebilir ve onu maske üzerindeki desenle daha doğru hizalayabilir.
Şirket, FPD litografi makinesi pazar yarışmasına aktif olarak katıldı ve kullanıcı üretim hattına girmek için ilk 4,5 nesil TFT projeksiyon litografi makinesini gerçekleştirdi. Şirketin 200 serisi projeksiyon litografi makinesi, AM-OLED ve LCD ekranlı TFT devre üretimine adanmış gelişmiş projeksiyon litografi platformu teknolojisini benimser, yüksek hassasiyetle (1,5um), küçük maske (6 inç) desteğiyle kullanıcı maliyetlerini düşürür ve Akıllı kalibrasyon ve teşhis özellikleri, nesil 2.5'ten nesil 6'ya kadar TFT ekranların seri üretim hatlarına uygulanabilir. Şu anda piyasadaki ana OLED seri üretim modelleri 6. nesil ve Ar-Ge modelleri 2.5 veya 4.5 kuşaktır.Nikon ve Canon 6. kuşağın altındaki modelleri sağlamadığından, şirketin 6. kuşağın altındaki modelleri dünyanın lideridir.
* Sorumluluk Reddi: Bu makale yazar tarafından orjinaldir. Makalenin içeriği yazarın kişisel görüşüdür. Semiconductor Industry Observation'ın yeniden basımı yalnızca farklı bir bakış açısını iletmek içindir. Bu, Semiconductor Industry Observation'ın bu görüşü kabul ettiği veya desteklediği anlamına gelmez. Herhangi bir itirazınız varsa, lütfen Semiconductor Industry Observation ile iletişime geçin.
