Açık teknoloji platformu, "liderlikten" "koşmaya" kadar, "Çin Çipi" endüstrisinin işbirliğine dayalı yeniliğini artırıyor
Entegre devre endüstrisinin uzun bir zinciri, her bir halkada karmaşık prosedürleri ve büyük miktarda yatırımı vardır Tek başına imalat bağlantısı bin adımı aşar ve ekipman ve malzemelerin çoğu yabancı tekellerdir. Bu sayısız engelin nasıl aşılacağı ve yerli teknolojik atılımların nasıl sağlanacağı, bir sorun haline geldi.
Zhangjiang'daki Şangay Entegre Devre Ar-Ge Merkezi'nde şu anda Çin'deki tek açık 12 inç entegre devre gelişmiş proses araştırma ve geliştirme ve yerli ekipman malzeme değerlendirme ve doğrulama pilot test hattı bulunmaktadır.Yerel entegre devre şirketleri burada çeşitli ilgili araştırmaları gerçekleştirebilir. Ve işbirliğine dayalı inovasyonda süreç doğrulama, entegre devrelerin yerelleştirilmesini ortaklaşa teşvik eder.
Şangay Entegre Devre Ar-Ge Merkezi'nin arıtma atölyesinde, bu 12 inç entegre devre ileri teknoloji Ar-Ge üretim hattı gece gündüz çalışıyor. Hat boyunca 80'den fazla proses ekipmanı dağıtılmaktadır, bunlara sadece yabancı üreticilerin en son ekipmanları değil, aynı zamanda yerli işletmelerin birinci nesil Ar-Ge ürünleri de dahildir.
"Örneğin, bu, Shanghai Zhongwei Semiconductor'ın ilk dağlama ekipmanıdır. Ülkemizde, yarı iletkenler açısından, Zhongwei şu anda teknolojik olarak en gelişmiş olanıdır. TSMCnin 5nm fabrikasında, 7nm Şangay Entegre Devre Ar-Ge Merkezi Co., Ltd. başkanı Chen Shoumian, fabrikanın kendi ekipmanı olduğunu söyledi.
Standart bir 12 inç yarı iletken üretim hattının mevcut maliyeti 5 ila 6 milyar ABD doları arasında değişmektedir ve ekipman yatırımı genellikle 3 milyar ABD dolarıdır. Mevcut teknik sınırlamalar nedeniyle, benzer üretim hatlarının yerelleştirme oranı genellikle% 10'dan azdır ve ekipmanların çoğu büyük ölçüde ithalata bağımlıdır, bu da endüstrinin gelişiminin başkaları tarafından kısıtlandığı bir duruma neden olur. Ancak, Şangay Entegre Devre Ar-Ge Merkezi'nin bu üretim hattı benzersizdir Buradaki ekipmanların yerelleştirme oranı dörtte bire ulaştı. "Bir üretim hattına yapılan bu kadar büyük bir yatırımla, yeni bir cihaz aniden takılırsa, hiç doğrulanmamışsa büyük bir risk vardır. Bu nedenle, yeni cihaz genel olarak değerlendirilir, test edilir ve böyle bir fabrika ortamında pilotaj yapılırsa, Ancak üretim gereksinimlerini karşıladıktan sonra resmi olarak üretim hattına geçebiliriz "
Chen Shoumian, "Bizim için, yerli ekipman üreticilerine ve malzeme üreticilerine, üretim hattına hızla uygulanabilecek yeni ekipman ve yeni malzemeler geliştirmelerine ve koordineli endüstri zincirini geliştirmelerine yardımcı olmalarına yardımcı olmalıyız. . "
Entegre devre üretimi sürecinde litografi, temel ekipman ve Çin teknolojisindeki en zor bağlantılardan biridir. Raporlara göre litografi makinesi, on binlerce hassas parça, yüzlerce aktüatör sensörü ve on milyonlarca satır koddan oluşan ultra karmaşık bir düşünce sistemidir.İç hareket doğruluğu hatası, insan saçının binde birinden fazla değildir. . Bir benzetme kullanmak, süpersonik bir düzlemde oturmak ve başka bir düzlemdeki bir iğne deliğinden bir ipi tutmak gibidir.
Şangay Entegre Devre Ar-Ge Merkezinde, buraya yerleştirilen iki ürün var.Ar-Ge ve üretim üreticisi Zhangjiang'dan Shanghai Microelectronics Equipment.Şu anda, bu iki ekipmanın teknolojisi, dünyanın en gelişmiş ekipmanına hala belli bir mesafede. Görünüşleri aynı zamanda Çin'in litografi makineleri alanında sıfır ilerleme kaydettiğini de gösteriyor. Chen Shou-mian şunları söyledi: Litografi makinesi önce prosese bağlanmalı ve sonraki gravürde desen görülmelidir. Bu nedenle, genellikle değerlendirme ve optimizasyon için fabrikada diğer ekipmanlarla bir araya getirilir. Ar-Ge merkezimizin avantajı, onu desteklemek ve fotolitografi üzerine Ar-Ge yapmak için bir Ar-Ge hattına ve diğer proses ekipmanına sahip olmamızdır. "
Şu anda, küresel litografi makinesi üreticileri yalnızca ekipman üzerinde teknoloji tekeli uygulamakla kalmıyor, aynı zamanda ilgili sarf malzemeleri ve yazılımlar da özelleştiriliyor. Bu kapsamda geçen yıl Aralık ayında başlayan merkez, ulusal entegre devre ekipman malzemeleri endüstrisi inovasyon merkezinin inşaatına başlamak için başvuruda bulunarak, yerli ekipmanların aksesuarları konusunda özel araştırmalar yapmaya çalışıyor. Chen Shoumian, "Yerli fotorezistin gelişimini desteklemek için bu yerli litografi makinesini de kullanıyoruz. Litografi makinesi ve fotorezist birbiriyle uyumlu. Ancak bu şekilde ekipman ve teknolojide kapsamlı bir atılım gerçekleştirebiliriz." Dedi.
Ulusal bir entegre devre inovasyon merkezi olarak merkez şu anda her yıl yaklaşık 200 yerli entegre devre tasarım şirketine test, tasarım desteği ve bant çıkışı hizmetleri sağlıyor. 2019'da merkez ayrıca, Çin'in entegre devre endüstrisinin yetenek havuzu için bir garanti sağlayarak, her yıl Şangay entegre devre endüstrisi için 2.000'den fazla yüksek vasıflı personel eğitimi sağlayan "ulusal düzeyde entegre devre yüksek vasıflı personel eğitim üssü" olduğunu ilan etti.
Sütun Editörü Xu Sufei
Genel Yayın Yönetmeni Deng Qingqing
Qu Lichun'un izniyle
