Çin, en yüksek çözünürlüğe sahip dünyanın ilk ultraviyole süper çözünürlüklü litografi ekipmanını geliştirdi, büyük resim geliyor
Kaynak: Halk Kurtuluş Ordusu Kurtuluş Ordusu Günlük muhabir · Gazetecilik ve İletişim Merkezi Finansal Medya Bakanlığı Yazar: Zou Weirong Lu Zhen Hui
Çin, en yüksek çözünürlüğe sahip dünyanın ilk ultraviyole süper çözünürlüklü litografi ekipmanını başarıyla geliştirdi
22nm çipleri işleyebilir
Süper çözünürlüklü litografi ekipmanının temel bileşeni, nano konumlandırmalı interferometre ve hassas boşluk ölçüm sistemidir.
Military News muhabiri, Chengdu, 29 Kasım (Lu Zhenhui, muhabir Zou Weirong) Ulusal büyük bilimsel araştırma ekipmanı geliştirme projesi "Süper çözünürlüklü litografi ekipmanı geliştirme" 29'unda kabulü geçti. Bu, Çin tarafından başarıyla geliştirilen en yüksek çözünürlüğe sahip dünyanın ilk ultraviyole süper çözünürlüğüdür. Litografi ekipmanı. Litografi makinesi, 22 nanometre litografi çözünürlüğü ile Çin Bilimler Akademisi Optoelektronik Teknolojisi Enstitüsü tarafından geliştirilmiştir.Çoklu pozlama teknolojisi ile birleştirildiğinde, 10 nanometre seviyesinde çipler üretmek için kullanılabilir.
Süper çözünürlüklü litografi ekipmanının temel bileşeni olan süper çözünürlüklü litografi lensi.
Çin Bilimler Akademisi Fizik ve Kimya Enstitüsü'nden akademisyen Xu Zuyan ve kabul grubundaki diğer uzmanlar oybirliğiyle, litografi makinesinin 365 nanometre dalga boyu altında 22 nanometre maksimum hat genişliği çözünürlüğüne sahip olduğunu belirttiler. Proje, ilke olarak çözünürlük sınırını aşıyor, ilgili yabancı fikri mülkiyet engellerini atlayarak yüksek çözünürlüklü, geniş alanlı nanolitografi ekipmanının araştırılması ve geliştirilmesi için yeni bir yol oluşturuyor.
Süper çözünürlüklü litografi ekipmanıyla işlenmiş 4 inçlik litografi örnekleri.
Süper çözünürlüklü litografi ekipmanı ile işlenen süper iletken nanotel tek foton dedektörü.
Litografi makinesi, cips üretimi için temel ekipmandır ve Çin bu alanda uzun süredir geride kalmıştır. Küçük bir çip üzerine çizim yapan büyük devre tasarımını azaltmak için fotoğraf baskısına benzer bir teknoloji kullanır Litografi doğruluğu ne kadar yüksekse, çip boyutu o kadar küçük ve performans o kadar yüksek olur. Bununla birlikte, ışık dalgalarının kırınım etkisine bağlı olarak, litografi doğruluğu eninde sonunda sınırıyla karşılaşacaktır.
Çin Bilimler Akademisi Optoelektronik Enstitüsü'nden bilim adamları, süper çözünürlüklü litografi ekipmanı tarafından işlenen süper iletken nanotel tek foton dedektörlerini gösterdiler.
Sınırı aşmak ve daha yüksek doğruluk elde etmek için, ışık dalgasını kısaltma ve görüntüleme sisteminin sayısal açıklığını artırma teknolojisi yolu, litografi makinesini iyileştirmek için kullanılır, ancak aynı zamanda yüksek ekipman maliyeti ve düşük verimlilik gibi engellerle de karşılaşır.
Projenin baş mühendis yardımcısı Hu Song'a göre, yüzey plazmon süper çözünürlüklü litografi ekipmanı, Çin Bilimler Akademisi Optoelektronik Enstitüsü'nün denetimini geçti ve geleneksel rota modelini kırdı ve tamamen bağımsız fikri mülkiyet haklarına sahip yeni bir nano-optik litografi teknolojisi rotası oluşturdu. Metamalzemelerin / meta yüzeylerin, üçüncü nesil optik cihazların, genelleştirilmiş yongaların ve diğer dönüştürücü alanların sıçrama gelişimi, üretim araçları sağlar.
Projenin baş tasarımcı yardımcısı olan Araştırmacı Hu Song, süper çözünürlüklü litografi ekipmanının araştırma ve geliştirmesini tanıttı.
Çin Bilimler Akademisi Optoelektronik Enstitüsü'nden bilim adamları süper çözünürlüklü litografi ekipmanı kullanıyor.
Litografi makinesinin ürettiği ilgili cihazların, Çin Havacılık ve Uzay Bilim ve Teknoloji Kurumu Sekizinci Araştırma Enstitüsü, Çin Elektronik Bilim ve Teknoloji Üniversitesi Terahertz Bilim ve Teknoloji Araştırma Merkezi, Sichuan Üniversitesi Batı Çin Hastanesi, Devlet Anahtar Fonksiyonel Malzemeler Laboratuvarı, Mikrosistemler Enstitüsü, Çin Bilimler Akademisi vb. Yerlerde kullanıldığı anlaşılmaktadır. Birçok bilimsel araştırma enstitüsü ve üniversite büyük araştırma görevlerinde uygulanmıştır.
Çin Bilimler Akademisi Optoelektronik Enstitüsü'nden bilim adamları süper çözünürlüklü litografi ekipmanı kullanıyor.
Halk Kurtuluş Ordusu Haberleri ve Halk Kurtuluş Ordusu Haber ve İletişim Merkezi'nin Gazeteci Bölümü, RongMedia tarafından üretildi
