Yerli olarak üretilen SP litografi makinesi nerede?
Son zamanlarda, "Çin, dünyanın ilk ultraviyole süper çözünürlüklü litografi ekipmanını en yüksek çözünürlüğe sahip başarıyla geliştirdi" haberi görüntülendi. Bazıları sevindi, bazıları bunu reddetti. Peki bu ekipmanın gücü nedir ve inek nerede?
Öncelikle herkesin en çok ilgilendiği iki soruyu yanıtlayın:
1. Çiplerin tam yerini bulabilir miyiz?
Cevap: Henüz değil.
2. Övünmeyin, gerçekten çok güçlü mü yoksa sadece övünme mi?
Cevap: Gerçekten harika.
Pek çok kişi haberlerdeki 22nm göstergesine yalnızca bakıyor. Aslında herkesin dikkat etmesi gereken şey şudur " 365 nm Işık kaynağı, Tek pozlama Çizgi genişliği ulaşabilir 22 nm ". Kararttığım anahtar kelimeleri fark ettiniz mi? 22nm gösterge harika olmasına rağmen, endüstri bunu uzun süredir yapıyor. Nerede bu kadar güçlü? Yani anahtar, tek bir pozlamada 22nm elde etmek için 365nm ışık kaynağı kullanmaktır. Optik bunun ne anlama geldiğini bilir: geleneksel kırınım sınırını aşmak.
Bence bu makinenin en büyük değeri Yüzey plazmon (SP) litografi işlemenin uygulanabilirliğini doğrular .
Bu SP litografi makinesi ASML litografi makinesiyle nasıl karşılaştırılır? Uygunsuz bir örnek için, Erken ateşli silahlar ve en güçlü yaylar ve oklar Kontrast. Blunderbuss gibi ilk ateşli silahlar, atış hassasiyeti ve atış mesafesi açısından güçlü yay ve oklardan çok daha düşüktü, ancak bugünün keskin nişancı tüfekleri yayları ve okları binlerce mil uzağa fırlattı. İlkeli zafer .
Az önce bahsedilen "ana zaferin" ne olduğunu anlamak için, önce ASML tarafından temsil edilen geleneksel litografi makinesinin bunu nasıl yaptığını incelemeliyiz.
Yukarıdakiler, ASML litografi makinesinin basit bir şematik diyagramıdır.Karmaşık izleme ekipmanının yanı sıra, temel ilke, objektif lens sistemi yoluyla maske üzerindeki deseni azaltmaktır. Görüntüleme sürecine gelince, ışığın kırınım sınırı dikkate alınmalıdır. Kırınım etkisine bağlı olarak tüm geometrik sapmaları bir kenara bıraksak bile, sonsuz küçük bir nokta görüntülemeden sonra "Airy disk" olarak adlandırılan dağınık bir nokta haline gelecektir. Bu nedenle, gerçek optik sistemin görüntüleme çözünürlüğü, iki Airy diskinin ayrılabileceği mesafedir.
Bu nedenle, kırınım etkileri nedeniyle, görüntüleme çözünürlüğü sınırlı olacaktır Nihai çözünürlük, dalga boyu ve sayısal açıklık gibi parametrelere bağlıdır.Dalga boyu ne kadar küçük ve sayısal açıklık ne kadar büyükse, çözünürlük o kadar yüksek olur. Bu nedenle, ASML'nin yıllar içindeki ana araştırma yönü, daha kısa dalga boyları (yakın ultraviyole-derin ultraviyole-aşırı ultraviyole) kullanmak ve sayısal açıklığı artırmaktır (daha karmaşık hedefler, sıvı daldırma). Bununla birlikte, sonraki her adım daha zor hale gelir ve sistem tasarımı, işleme ve montaj, hata tespiti ve diğer birçok hususta daha katı gereksinimler ortaya konulur ve maliyet giderek yükselir.
Peki ya yüzey plazmon litografisi? Yüzey plazmonu, bir maddenin yüzeyinde lokalize olan özel bir elektromanyetik dalgayı ifade eder.Maddenin yüzeyinden uzaklığı arttıkça hızla bozulur.Genellikle dalga boyu seviyesinin üzerindeki bölgenin bulunmadığına inanılır.
Daha da şaşırtıcı olanı, yüzey plazmon dalgasının diğer elektromanyetik dalgalar tarafından uyarılmasına rağmen, dalga boyunun büyük ölçüde sıkıştırılacağı ve sıkıştırma oranının, malzemenin elektromanyetik özelliklerine ve diğer parametrelere bağlı olmasıdır.
Bu, fotolitografi için yüzey plazmon dalgalarını kullanırken, prensip olarak, geleneksel kırınım limiti ile sınırlı olmadığı anlamına gelir.
Litografi makinelerinin geliştirilmesinde her zaman iki seçeneğimiz olmuştur: eski ASML yolunu takip etmek mi, yoksa yeni bir yol almak ve yeni prensip eğrisini geçmek mi? Ülkemiz şu anda iki seçim yapıyor. Bu SP litografi makinesinin başarılı gelişimi, bir virajda sollama olasılığını görmemizi sağlıyor. Aslında, prensip olarak, bu sadece bir virajda sollamak değildir, ancak diğer insanlar hala dağ yolundan dönerken, biz Tünel yapmaya çalıştı ...... Henüz tam olarak çıkarılmamış olmasına rağmen, şafak geldi.
Lei Feng
